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모델 번호		CV-3100S4
주문 번호		218-421K
측정범위		CV-3200S4/H4/W4 CV-4000S4/H4/W4 X축: 100mm Z축: ±30mm CV-3200S8/H8/W8 CV-4000S8/H8/W8 X축: 200mm Z축: ±30mm
분해능	X축	0.00005mm
	Z축	CV-3200 모델: 0.04um CV-4500 모델: 0.02um
측정 정도(20˚C)	X축	CV-3200S4/H4/W4: ±(0.8+0.01L)㎛ CV-3000S8/H8/W8: ±(0.8+0.02L)㎛ CV-4500S4/H4/W4: ±(0.8+0.01L)㎛ CV-4000S8/H8/W8: ±(0.8+0.02L)㎛
	Z축	CV-3200 모델: ±(1.6+|2 H|/100)㎛ CV-4500 모델: ±(0.8+|2 H|/100)㎛
드라이브 유니트 진직도		0.8㎛/ 100mm
컬럼 이동 범위		250mm
드라이브 유니트 경사		±45˚
측정 방향		전진/후진
스타일러스 방향		하향/상향
스타일러스 추종 각도		77˚(상승), 87˚(하강) 측정물 표면에 조건에 따라 달라짐
이동 속도		측정: 0.02mm/s - 2mm/s (7스텝) 작동: 5mm/s 위치 설정: 0.1mm/s - 5mm/s(콘트롤 박스로 조정 가능)
디지털 데이터 출력		RS-232C 인터페이스
측정력		30mN
작동 온도		15˚C - 25˚C
전원		150VA (최대)
치수(WxDxH)		741X450X905mm
무게		140kg